“고해상도 전자빔 가공기”으로 총 1건 검색
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- 고해상도 전자빔 가공기, 高解像度電子-加工器, high resolution electron beam apparatus
- 극소형 장치(㎚ 정도)의 생산에 사용되는 전자빔 장치. 전자빔 기술을 약 100㎚의 소형 디바이스에 사용하기 위해서는 특히 고해상도의 장치가 필요하다. 전자 광학계의 최소 스폿(spot)은 5㎚, 편향계는 20㎚의 직경을 가진 스폿에서 250㎚의 정사각형을 그리도록 설계되어 있다.